Foto: MfL
Soweit ist es in der Halbleitertechnik schon gekommen: Technologisch lassen sich heutzutage Bauelemente für komplexe, integrierte Schaltkreise mit Abmessungen von wenigen Nanometern auf einem Silizium-Chip herstellen. Allerdings wird die Funktionalität dieser Bauelemente in zunehmendem Maße durch Quanteneffekte bestimmt, wodurch ihrer weiteren Verkleinerung und Steigerung der Leistungsfähigkeit in naher Zukunft eine physikalische Grenze gesetzt ist.
Die Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter des Instituts für Halbleitertechnik (IHT) unter Leitung von Professor Joachim Knoch entwickeln daher alternative Strategien, die sich gerade diese Quanteneffekte zunutze machen. Unerlässlich für die Prototypenherstellung ist hierzu ein Reinraumlabor mit einer sauberen und staubfreien Umgebung. Das Arbeiten in einem solchen Labor ist von eng gefassten Vorschriften geprägt, da bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen u.a. ätzende, toxische und hochentzündliche Chemikalien und Gase zum Einsatz kommen. Zudem wird mit zum Teil sehr teuren, hochempfindlichen Geräten gearbeitet, deren Fehlbedingung zu einem längerfristigen Ausfall führen kann. Daher ist das Arbeiten im Reinraum erst nach entsprechenden Sicherheitsschulungen und Geräteeinweisungen erlaubt.
Detaillierte Video-Dokumentationen
Im Reinraumlabor herrscht eine saubere und staubfreie Umgebung. Foto: MfL
Erfahrungsgemäß ergeben sich aber auch nach aufwändigen Einweisungen in die Laborarbeit immer wieder Fragen, etwa bezüglich der gefahrlosen Handhabung von Maschinen. Um eine angemessene und dauerhafte Begleitung der wissenschaftlichen Mitarbeiter sicher zu stellen, vor allem aber um den Studierenden in entsprechenden Lehrveranstaltungen den Zugang zu einem modernen Reinraumlabor zu ermöglichen, dreht Medien für die Lehre (MfL) seit Mai dieses Jahres Filme zur detaillierten Dokumentation der Sicherheitsaspekte, der Bedienung von Geräten und spezieller Versuchsabläufe. Diese Videos dienen vor Ort als Anleitung, wodurch die Fehlerquote bei der Versuchsdurchführung deutlich reduziert werden kann.
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